（本网讯）3月9日上午，350vip8888新葡的京集团杰出校友、中国科学院高能物理研究所研究员伊福廷应邀来校为光电工程学院师生做了题为“微加工技术（LIGA技术）发展及其应用”的学术讲座。讲座由薄膜技术与光学检测重点实验室杭凌侠教授主持，刘卫国副校长出席，光电工程学院部分教师、薄膜技术与光学检测重点实验室研究生聆听了讲座。
伊福廷研究员首先从大规模集成电路光刻技术对人类的影响入手，介绍了微机电系统（MEMS）技术的发展，以及微机电系统微加工的方法，并从同步辐射光源性能、LIGA工艺过程、技术特点等方面介绍了同步辐射X射线光刻技术，最后以大量的实例展示了LIGA技术潜在的应用前景。
精彩的讲座引起了听众广泛的兴趣，拓宽了与会师生的学术视野。讲座结束后部分教师结合自身研究领域在微纳光刻技术及应用方面与伊福廷研究员展开了热烈的讨论，深感受益匪浅。
文：光电工程学院 编辑：党委宣传部 责任编辑：王新慧
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